Технологія електронної техніки

Код модуля: 
ЕП_6020_С01
Тип модуля: 
обов’язковий
Семестр: 
Шостий
Обсяг модуля: 
загальна кількість годин — 120 (кредитів ЄКТС — 4) аудиторні години — 64 (лекції — 48, лаб. роб — 16)
Лектори: 
д.т.н., доц. Черпак Владислав Володимирович
Результати навчання: 
У результаті вивчення модуля студент повинен:
  • знати теоретичний матеріал з питань отримання і дослідження вакууму , методів формоутворення та з'єднання матеріалів, принцип дії і області застосування приладів вимірювання вакууму і його отримання, основні положення технологічної гігієни сучасного електронного виробництва, основні технологічні процеси виробництва напівпровідникових техніки;
  • вміти правильно вибрати методи технологічної обробки в процесі виготовлення конкретного приладу, вибрати необхідне технологічне устаткування
Спосіб навчання (аудиторне, дистанційне навчання): 
аудиторне
Необхідні обов’язкові попередні та супутні модулі: 
  • пререквізит: Фізика, Спеціальні розділи фізики,Фізичні основи електронної техніки.
  • кореквізити: Матеріали електронної техніки.
Зміст навчального модуля: 
Плазмова технологія травлення структур, Лазерна обробка в електронній техніці, Електронно-променева технологія, Технологія тонких плівок, Субмікронна літографія, Нанотехнологія для електронної нанотехніки, Монтаж мікроелекронних пристроїв.
Рекомендована література: 
  1. Фізичні основи електронної техніки: навчальний посібник/за редакцією З. Готри. — Львів: Видавництво НУ «Львівська Політехніка», 2002. −644с.
  2. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: Учебн. Для вузов по спец. "Вакуумная техника«.-2-е изд., перераб. И доп. — М.: Высшая школа, 1990.
  3. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. «Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность»: Учеб, Пособие длч приборостроит.Спец.Вузов.-2-е изд, перераб. И доп. — М.: Висшая школа, 1996
  4. Колобов Н.А. Основы технологии электроных приборов Учеб. Пособие для вузов. — М.: Высшая школа, 2003 — 530
Форми та методи навчання: 
лекції, практичні заняття, самостійна робота.
Методи і критерії оцінювання: 
  • Поточний контроль (40%): усне опитування
  • Підсумковий контроль (60 %, диференційований залік, тестування
Мова навчання: 
українська